大规模集成电路的未来技术 [YW]


名称	大规模集成电路的未来技术 [YW]

索引号	068194
分类号	(\| 08 环境公报)
作者	西泽润一、杨世良、林Ł̲、
出版社	北京 : 科学出版社, 1988.8
ISBN	7-03-000414-0
页数	342页 : 图 ; 19cm
价格	CNY4.60
标签
简介
注解	分析和探讨集成电路技术中的材料制造技术与微细加工技术等・