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名称 等离子体与成膜基础
索引号 633456
分类号
(| 08 环境公报)
作者 小沼光晴、张光华、
出版社 北京 : 国防工业出版社, 1994.6
ISBN 7-118-01141-X
页数 238页 ; 19cm
价格 CNY11.40
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简介
注解 分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章・