集成电路制造技术 : 原理与实践


名称	集成电路制造技术 : 原理与实践

索引号	036721
分类号	(\| 08 环境公报)
作者	庄同曾、黄兰芳、张安康、
出版社	北京 : 电子工业出版社, 1987.10
ISBN	7-5053-0174-8
页数	726页 : 图 ; 26cm
价格	CNY7.65
标签
简介
注解	高等学校教学用书・包括单晶制备、芯片制造、测试、组装技术、器件与工艺模拟、化学气相淀积、完美晶体工艺、测试结构、理化分析、可靠性与质量管理等・