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名称 半导体硅锗中的离子注入
索引号 060607
分类号
(| 08 环境公报)
作者 迈耶、J.W.、余怀之、
出版社 北京 : 科学出版社, 1979
ISBN
页数 290页 ; 19cm
价格 CNY0.97
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简介
注解 书名原文:Ion implantation in semiconductors silicon and germanium