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名称 MEMS技术及其应用
索引号 603040
分类号
(| 08 环境公报)
作者 李德胜、王东红、孙金玮、金鹏、
出版社 哈尔滨 : 哈尔滨工业大学出版社, 2002
ISBN 7-5603-1694-8
页数 301页 : 图 ; 21cm
价格 CNY18.00
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简介
注解 国家自然科学基金资助课题 哈尔滨工业大学研究成果专著基金资助出版 本书编著李德胜、王东红、孙金玮、金鹏・ 有书目 (第298-301页) 本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述・具体内容有: 绪论, MEMS基础理论、微机械制造技术、MEMSCAAD辅助分析设计, 微传感器、微操作器、微机电系统、生物芯片・