VLSI planarization : methods, models, implementation


名称	VLSI planarization : methods, models, implementation

索引号	TN47/E993
分类号	TN47 TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路) TN4(微电子学、集成电路（IC）) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者
出版社	Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic, 1997.
ISBN
页数	vi, 184 p. : ill. ; 25 cm.
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简介
注解	Includes bibliographical references (p. 173-179) and index.