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名称 Polycrystalline silicon for integrated circuits and displays
索引号 TN4/E995.2
分类号 TN4
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Kamins、 Theodore I.、
出版社 Boston : Kluwer Academic Publishers, c1998.
ISBN
页数 xv, 378 p. : ill. ; 25 cm.
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