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名称 Physical vapor deposition of thin films
索引号 O552/E20011
分类号 O552
O552(物质分子运动论)
O55(热学与物质分子运动论)
O(数理科学和化学)
作者 Mahan、 John E.、
出版社 New York : Wiley, c2000.
ISBN
页数 xiii,312p. 24cm.
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简介
注解 "A Wiley-Interscience publication."