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名称 Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication
索引号 O539/E20071
分类号 O539
O539(等离子体物理的应用)
O53(等离子体物理学)
O(数理科学和化学)
作者 Makabe、 T. (Toshiaki)、Petrovic、 Z.、
出版社 Boca Raton, FL : Taylor & Francis, c2006.
ISBN
页数 339 p. : ill. ; 25 cm.
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