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名称 MEMS : applications
索引号 TN409/E20071.2
分类号 TN409
TN409(应用)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 Boca Raton, FL : CRC Press/Taylor & Francis, 2006.
ISBN
页数 1 v. (various pagings) : ill. ; 26 cm.
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