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名称 Electron-beam technology in microelectronic fabrication
索引号 TN405.7/E902
分类号 TN405.7
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 New York : Academic Press, 1980.
ISBN
页数 xi, 362 p. : ill. ; 24 cm.
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