Silicon nitride for microelectronic applications


名称	Silicon nitride for microelectronic applications

索引号	TN104/E802
分类号	TN104 TN104(电真空器件材料) TN10(一般性问题) TN1(真空电子技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	Milek、 John T. (John Theophil)、 1915-、
出版社	New York : IFI/Plenum, 1971-72.
ISBN
页数	2 v. : illus. ; 28 cm.
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