フォトエッチングと微細加工


名称	フォトエッチングと微細加工

索引号	TN29/J901
分类号	TN29 TN29(光电子技术) TN2(光电子技术、激光技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	楢岡清威、二瓶公志、
出版社	東京 : 総合電子出版社東京 : 工学図書 (発売), 1977.5
ISBN	2400円
页数	vi, 214p : 図 ; 22cm
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简介
注解	卷末に索引がある