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名称 PI衬底卷绕磁控溅射/电沉积法制备Cu膜工艺及其性能研究 [硕士论文]
索引号 O/M2010/30
分类号 O/M2010
O(数理科学和化学)
作者 吉锐 物理电子学、唐振方、
出版社 广州 : 暨南大学, 2010
ISBN
页数 6, 58页 : 图 ; 29cm
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简介
注解 工学:物理电子学;暨南大学,2010-05-28 工学硕士 学位论文(硕士)