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名称 硅化物及其在超大规模集成电路中的应用 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1987
ISBN 7310000463
页数 192页
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简介
注解 本书较系统地介绍了各种硅化物,探讨了在超大规模集成电路中作为栅、内部互连线以及线的低电阻接触的可应用性,总结了取得的成果,提出了存在的问题和今后研究的方向。