硅片加工工艺学 [电子资源]


名称	硅片加工工艺学 [电子资源]

索引号
分类号	(\| 08 环境公报)
作者
出版社	, 1985
ISBN	15192401
页数	201页
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简介
注解	书名原文: Silican wafer processtechnology.:根据美国集成电路工程公司1977年出版《硅版制造手册》第一卷译成