真空镀膜技术与设备 [电子资源]


名称	真空镀膜技术与设备 [电子资源]

索引号
分类号	(\| 08 环境公报)
作者
出版社	, 1989
ISBN	7810060945
页数	293页
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简介
注解	高等工业学校教材:本书包括镀膜基本理论、蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜和束流沉积技术、设备的安装与维护等内容。