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名称 真空沉积技术 [电子资源]
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(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1994
ISBN 730801326X
页数 242页
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简介
注解 本书内容有:真空与低温等离子体物理基础、成膜技术、薄膜的检测与分析等。