真空从纯净的空间到纳米 [电子资源]


名称	真空从纯净的空间到纳米 [电子资源]

索引号
分类号	(\| 08 环境公报)
作者
出版社	, 2001
ISBN	7532833364
页数	135页
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简介
注解	本书介绍了经典真空技术、真空冶金、等离子体科学与技术、薄膜、电子材料和加工工艺、表面科学、应用表面科学、纳米科学与技术等内容。