集成电路工艺规范 [电子资源]


名称	集成电路工艺规范 [电子资源]

索引号
分类号	(\| 08 环境公报)
作者
出版社	, 1980
ISBN	1519278
页数	196页
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简介
注解	书名原文:Silicon wafer fabrication manual v.2: MOS silicon wafer processing