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名称 半导体生产净化技术 高纯水的制造及废水、废气的处理 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1987
ISBN 7030000048
页数 254页
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简介
注解 本书介绍了半导体生产中大量使用的洗涤用水-高纯水的制备方法、纯度测试及高纯水系统的设计,介绍了从半导体工厂排放出来的废水及有害气体的情况及其处理方法。