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名称 微细加工技术 [电子资源]
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(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1990
ISBN 7505308610
页数 405页
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简介
注解 高等学校教材:本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。