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名称 材料表面薄膜技术 [电子资源]
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(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1991
ISBN 7114009178
页数 698页
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简介
注解 本书介绍了薄膜制作的主要技术、形成机理、制作中的相关问题,以及薄膜的多种力学、电学、磁学、光学和半导体、超导体薄膜的性质及其在多种领域中的应用。