微机电系统技术 [电子资源]


名称	微机电系统技术 [电子资源]

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分类号	(\| 08 环境公报)
作者
出版社	, 2002
ISBN	7118025607
页数	217页
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简介
注解	由国防科技图书出版基金资助出版:本书介绍微机电系统技术涉及的微机械学、微电子学、微光学、流体力学、自动控制等的学科内容，包括基本问题、常用材料、相关的集成电路制造技术等。