精密和超精密加工技术。

第一章：精密和超精密机床几何精度建模理论和方法
第二章：精密和超精密机床精度模型和应用
第三章：精密和超精密加工刀具及加工表面形貌建模技术
第四章：基于激光干涉仪的精密和超精密机床误差检测与评价
第五章：基于模型的精密和超精密虚拟加工技术