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名称 氢化硅薄膜介观力学行为研究和耐高温压力传感器研制
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分类号
(| 08 环境公报)
作者 王权、
出版社 镇江 : 江苏大学出版社, 2012
ISBN 978-7-81130-436-7
页数 131页 : 图 ; 22cm
价格 CNY26.00
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简介
注解 本书由江苏大学专著出版基金资助 有书目 本书主要针对氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器这两个问题展开了理论与实验研究。内容包括: 氢化硅薄膜的制备和微观表征 ; 衬底对纳米硅薄膜生长的影响等。