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微机电系统

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索取号:TN4/20118
作者:苑伟政、乔大勇、
出版社:西安 : 西北工业大学出版社, 2011

微机电系统设计与制造

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索取号:601678
作者:莫锦秋、梁庆华、汪国宝、
出版社:北京 : 化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心, 2004

微机电系统

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索取号:TM38-39/20041
作者:梅涛、伍小平、
出版社:北京 : 化学工业出版社, 2003
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