大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » | 08 环境公报 » 压力传感器的设计制造与应用 ya li chuan gan qi de she ji zhi zao yu ying yong
名称 压力传感器的设计制造与应用 ya li chuan gan qi de she ji zhi zao yu ying yong
索引号 608507
分类号
(| 08 环境公报)
作者 孙以材 sun yi cai 编著、
出版社 北京 : 冶金工业出版社, 2000
ISBN 7-5024-2400-8
页数 615页 ; 20cm
价格 CNY40.00
标签 1、
简介
注解 河北省教育委员会学术著作出版基金资助 本书主要介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计;介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线;介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术等・
书籍简介

本书分三大部分。第一部分介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计,并简要的讨论了晶体的能带结构及物理性质。第二部分以生产实践为主,介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线。第三部分介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术、信号调理电路,又以足够的篇幅介绍微型单片机原理及压力传感器在实际领域中的应用和其他种类的传感器。
本书适用于从事压力传感器研究和生产的工程技术人员阅读,也可供大专院校师生参考。