Impurity doping processes in silicon


名称	Impurity doping processes in silicon

索引号	TN305.3/E901
分类号	TN305.3 TN305.3(掺杂) TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者
出版社	Amsterdam ; New York : North-Holland Pub. Co. ; New York, N.Y. : Sole distributors for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1981.
ISBN
页数	643 p. : ill. ; 23 cm.
价格
标签
简介
注解