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名称 Ion implantation
索引号 TN305.3/E803
分类号 TN305.3
TN305.3(掺杂)
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 London Amsterdam, North-Holland Pub. Co.; New York, American Elsevier, 1973.
ISBN
页数 xv, 802 p. with illus. 23 cm.
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