Plasma etching in semiconductor fabrication


名称	Plasma etching in semiconductor fabrication

索引号	TN305/E901
分类号	TN305 TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	Morgan、 Russ A.、 1950-、
出版社	Amsterdam ; New York : Elsevier, 1985.
ISBN
页数	x, 316 p. : ill. ; 25 cm.
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简介
注解	Includes index. 附註 Bibliography: p. 303-311.