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名称 Insulating films on semiconductors : proceedings of the second international conference, INFOS 81, Erlangen, Fed. Rep. of Germany, April 27-29, 1981
索引号 TN304.055-53/E901/1981
分类号 TN304.055-53/E901
TN304.055(半导体薄膜技术)
TN304.05(制取方法与设备)
TN304.0(一般性问题)
TN304(材料)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 INFOS 81 (1981 : Erlangen、 Germany)、Schulz、 M. (Max)、Pensl、 G. (Gerhard)、
出版社 Berlin ; New York : Springer-Verlag, 1981.
ISBN
页数 x, 316 p. : ill. ; 24 cm.
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