Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

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名称	Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

索引号	TN131/E901
分类号	TN131 TN131(辉光放电管) TN13(气体放电器件、离子管) TN1(真空电子技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	Chapman、 Brian N.、
出版社	New York : Wiley, 1980.
ISBN
页数	xv, 406 p. : ill. ; 24 cm.
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简介
注解	"A Wiley-Interscience publication." Includes index. 附註 Bibliography: p. 397-400.