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名称 Silicides for VLSI applications
索引号 TN47/E9021
分类号 TN47
TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Murarka、 S. P.、
出版社 New York : Academic Press, 1983.
ISBN
页数 xi, 200 p. : ill. ; 24 cm.
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简介
注解 Includes indexes. 附註 Bibliography: p. 177-186.