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名称 Integrated circuits : chemical and physical processing : developed from the winter symposium
索引号 TN47-53/E901
分类号 TN47-53
TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 Washington, D.C. : American Chemical Society, 1985.
ISBN
页数 ix, 348 p. : ill. ; 24 cm.
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