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名称 Low dielectric constant materials for IC applications
索引号 TM21/E20051
分类号 TM21
TM21(绝缘材料、电介质及其制品)
TM2(电工材料)
TM(电子技术)
T(工业技术)
作者
出版社 Berlin ; New York : Springer, c2003.
ISBN
页数 xix, 309 p. : ill. ; 25 cm.
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