| 名称 | Principles and applications of NanoMEMS physics |
| 索引号 | TN201/E20061 |
| 分类号 | TN201 TN201(基础理论) TN20(一般性问题) TN2(光电子技术、激光技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
| 作者 | Santos、 H́Еctor J. de los.、 |
| 出版社 | Dordrecht, The Netherlands : Springer, c2005. |
| ISBN | |
| 页数 | xv, 254 p. : ill. ; 25 cm. |
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| 简介 | |
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