本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例，图文并茂。全书共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysies软件中MEMS建立模型的基本过程；第2章以6个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法；第3、4、5章分别介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发，具有高度的可靠性。 本书可供MEMS研究人员和爱好者，以及高等院校相关专业师生阅读、参考。