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名称 Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration [electronic resource]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者 Laconte、 J.、Flandre、 D.、Raskin、 J. -P.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Boston, MA : Springer US, 2006.
ISBN
页数 XIII, 292 p. digital.
价格 doi
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简介
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