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名称 Multi-Wafer Rotating MEMS Machines [electronic resource] : Turbines, Generators, and Engines
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分类号
(| 08 环境公报)
作者 Lang、 Jeffrey.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2010.
ISBN
页数 XIV, 454p. 604 illus., 302 illus. in color. digital.
价格 doi
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