半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程


名称	半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程

索引号	TN305-39/20141
分类号	TN305-39 TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	唐龙谷、
出版社	北京 : 清华大学出版社, 2014
ISBN	978-7-302-35431-4
页数	235页 : 图 ; 26cm 光盘1片
价格	CNY35.00
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简介
注解	有书目本书以Silvaco TCAD 2012为背景，由浅入深、循序渐进地介绍了Silvaco TCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成环境、Tonyplot显示工具、ATHENA工艺仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件电路混合仿真以及C注释器等高级工具。