纳米集成电路制造工艺 - 暨南大学图书馆


名称	纳米集成电路制造工艺

索引号	TN405/20142
分类号	TN405 TN405(制造工艺) TN40(一般性问题) TN4(微电子学、集成电路（IC）) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术)
作者	张汝京、
出版社	北京 : 清华大学出版社, 2014
ISBN	978-7-302-36027-8
页数	XIII, 433页 : 图 ; 26cm
价格	CNY69.00
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简介
注解	有书目 (第433页) 本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。