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名称 微电子机械系统
索引号 TH-39/10
分类号 TN4
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 姜岩峰、
出版社 北京：化学工业出版社工业装备与信息工程出版中心，2006
ISBN 7-5025-8158-8
页数 194页
价格 CNY28.00
标签 微电子技术、电子机械、
简介
注解 本书介绍了与微电子机械系统相关的基础知识、主要工艺和器件结构等内容，并对该领域的热点问题作了探讨，主要包括五部分内容。全书首先介绍了ＭＥＭＳ相关力学测量方法，接着介绍了ＭＥＭＳ中的主要工艺，传感器的原理、结构和实现方法，并对ＭＥＭＳ的器件的使用方法进行了讨论，最后阐述了ＭＥＭＳ系统仿真方向的内容。
书籍简介

本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结
构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部
分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺
，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构
和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述
了MEMS系统仿真方面的内容。
本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供
从事MEMS领域研究的科技人员参考。