微传感器和MEMS(微电子机械系统)正在使半导体工业领域发生一场新的变革。微系统也称为”芯片系统”，将微电子电路和微传感器及微执行器组合起来。这一新兴领域已经显示出它们在应用中未来发展的广阔前景，应用范围从电子鼻和智能耳到微型镊子及打印机喷墨头。 本书全面地介绍了微传感器的制作工艺，是一部论述微传感器、MEMS和智能器件成功应用的重要专著。 内容包括： 传统和新型制作工艺介绍．包括硅的体微机械加工、微立体光刻和聚合物加工工艺。 重点介绍IDT(叉指式换能器)微传感器在开发低能耗、无线MEMS或微机械中的应用。 本书涵盖了智能器件的最新应用，包括电子鼻、舌、手指，以及智能传感器和智能结构．如智能皮肤。 通过传感器阵列、传感器信号的参数补偿和专用集成电路技术的应用，对智能敏感器件的发展做了概述。 综合附录介绍了MEMS的材料主要特性、相关网址和本领域中重要的研究机构。 本书有助于读者增进对微系统的理解。其适宜读者群为研究生、微电子专业的研究人员、微传感器系统工程师和开发人员。书中对材料特性的详细介绍，对机械工程师、物理和材料专业工作者具有重要的参考和实用价值。