名称 半导体制造技术
索引号 TN305-43/1
分类号 TN305-43
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 夸克、塞尔达、韩郑生、
出版社 北京:电子工业出版社,2004
ISBN 7-5053-9493-2
页数 600页
价格 CNY55.00
标签 半导体工艺、教材、半导体技术、半导体、工艺、微电子、semi、mechatronics、
简介 国外电子与通信教材系列
注解
书籍简介

《半导体制造技术》在半导体领域,技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏,是以月而不是以年为单位计的。《半导体制造技术》详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料,学术界和工业界都称赞这是一本目前在市场上能得到的最全面、最先进的教材。全书共分20章,章节根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排,内容包括:与半导体制作相关的基础技术信息;总体流程图的工艺模型概况,用流程图将硅片制造的主要领域连接起来;具本讲解每一个主要工艺;集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外,各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题,这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。