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硅片加工技术

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索取号：TN305/20101
作者：张厥宗、
出版社：北京 : 化学工业出版社, 2009

硅单晶抛光片的加工技术

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索取号：TN305.2/20061
作者：张厥宗、
出版社：北京 : 化学工业出版社, 2005
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