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硅超大规模集成电路工艺技术 : 理论、实践与模型 : fundamentals, practice and modeling

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索取号：TN470.5/20061
作者：普卢默、迪尔、格里芬、严利人、王玉东、熊小义、
出版社：北京 : 电子工业出版社, 2005
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