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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication0索取号：O539/E20071 作者：Makabe、 T. (Toshiaki)、Petrovic、 Z.、 出版社：Boca Raton, FL : Taylor & Francis, c2006. |
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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication0索取号：O539/E20071 作者：Makabe、 T. (Toshiaki)、Petrovic、 Z.、 出版社：Boca Raton, FL : Taylor & Francis, c2006. |
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