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Electroceramic-Based MEMS [electronic resource] : Fabrication-Technology and Applications0索取号： 作者：Setter、 Nava.、SpringerLink (Online service)、 出版社：Boston, MA : Springer US, 2005. |
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Electroceramic-Based MEMS [electronic resource] : Fabrication-Technology and Applications0索取号： 作者：Setter、 Nava.、SpringerLink (Online service)、 出版社：Boston, MA : Springer US, 2005. |
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