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名称 MEMS Materials and Processes Handbook [electronic resource]
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(| 08 环境公报)
作者 Ghodssi、 Reza.、Lin、 Pinyen.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2011.
ISBN
页数 XXXVI, 1188p. 200 illus.. In 2 volumes, not available separately. digital.
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